2013年1月8日
平成２５年１月４日
大分県ＬＳＩクラスター形成推進会議会員の皆さま
人材育成専門部会 部会長 安部 征吾
第２回 ＭＥＭＳセミナーのご案内
携帯デバイスへの応用でMEMSが身近なものとなっています。MEMSはLSIで培われた半導体微細加工技
術で機械要素を作製する技術を利用しており、今後、LSIと並んで、電子電気機器の基幹部品となると考えられ
ています。
本セミナーでは、『MEMSの基礎と応用』と題して、3回シリーズで、MEMSの歴史や基礎となる材料・加
工技術、デバイスから現在の課題、将来の展開が期待される分野などを紹介しております。
新たなビジネスを模索している企業の皆さまにとって絶好の機会ですので是非ご活用いただきますようお願い
いたします。
参加を希望される場合は、添付の参加申込書に必要事項を記載の上、本メールあて返信または、ＦＡＸいただ
きますようお願い申し上げます。
【開催日時】平成２５年１月３１日（木） 14:00 ～ 16:30
【開催場所】大分県産業科学技術センター 多目的ホール
〒870-1117 大分市高江西1丁目4361-10
TEL 097-596-7100
【講 師】 京都大学大学院工学研究科
マイクロエンジニアリング専攻 准教授 土屋 智由 氏
【開催概要】 『MEMSの基礎と応用』
第1回 「MEMSとは」 : 平成２4年12月18日（火）: 終了しました。
MEMSとマイクロマシン・応用デバイス（センサ、アクチュエータ）等
第2回 「MEMSの材料・加工技術」: 平成２5年1月31日（木）
材料：シリコン、高分子材料・プロセス技術：リソグラフィ、エッチング、
成膜実装・パッケージング技術 等
第3回 「MEMSの応用」 : 平成２5年2月下旬(予定)
ナノテクノロジーとMEMS・バイオテクノロジーとMEMS
エネルギーとMEMS 等
なお、セミナー終了後に大分市内で講師を囲んで交流会を開催いたします。
奮ってご参加ください。(交流会費 : 4000円)
【 受講料 】無料
【締め切り】1月23日(水)
添付資料１(Word)
