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ダスト・ESAセミナー開催

2014年9月19日

ダスト・ESAセミナー開催

日時 平成26年9月19日 14:00~16:40
場所 産業科学技術センター 多目的ホール
講師 稲永 健氏(シーズシー㈲ 代表取締役)
演題 「後工程で求められるゴミ・ホコリ対策
   ESD対策とESA対策の違い」
概要 1.微粒子と粗大粒子の挙動
   2.クリーン化と静電気対策
   3.クリーン化の進め方
参加者 11社 1機関 61名

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