2013年10月21日
日時 平成25年10月21日（月）13:00～16:50
場所 産業科学技術センター 2F 第1研修室
【報告WG】
1.イオン発生モジュールWG
2.SiP製品工法開発WG
3.ＩＣ搬送機構研究WG
4.バーンインボード温調ユニット研究WG
5.リニアモータ開発WG
6.無塵マイクロナノバブル洗浄WG
7.PVテクスチャリングWG
【講評】浅野審査委員長
【参加者】
・審査会（浅野委員長、清水委員、亀ヶ谷委員、
安東委員、稲田委員、佐藤委員）
・研究開発専門部会（樋口部会長、山崎副部会長、
大竹委員）
・産業集積推進室１、半導体協議会２、
ＬＳＩクラスター事務局４ 計１６名
（ＷＧ報告者聴講可）
