2012年12月4日
第１回ＭＥＭＳセミナーを開催いたします。
詳細は、添付資料によりご確認ください。
多くの方のご参加をお待ちしています。
・日時：平成24年12月18日（火）14：00～16：30
・場所：大分県産業科学技術センター
・講師：京都大学大学院工学研究科
マイクロエンジニアリング専攻 准教授 土屋 智由 氏
携帯デバイスへの応用でMEMSが身近なものとなっています。
MEMSはLSIで培われた半導体微細加工技術で機械要素を作製す
る技術を利用しており、今後LSIと並んで、電子電気機器の基幹
部品となると考えられています。
本セミナーでは、『MEMSの基礎と応用』と題し、3回シリーズ
で、MEMSの歴史、基礎となる材料・加工技術、デバイスから現在
の課題、将来の展開が期待される分野を紹介いたします。
第１回「ＭＥＭＳとは」MEMSとマイクロマシン・応用デバイス
（センサ、アクチュエータ）等
第２回「ＭＥＭＳの材料・加工技術」平成25年1月31日（木）
材料：シリコン、高分子材料
プロセス技術：リソグラフィ、エッチング、成膜実
装・パッケージング技術 等
第３回「ＭＥＭＳの応用」平成25年２月下旬(予定)
ナノテクノロジーとMEMS・バイオテクノロジーと
MEMS，エネルギーとMEMS 等
