ダスト・ESAセミナー開催

2014年9月19日

ダスト・ESAセミナー開催

日時　平成26年9月19日 14:00～16:40
場所　産業科学技術センター 多目的ホール
講師　稲永　健氏(シーズシー㈲ 代表取締役)
演題　「後工程で求められるゴミ・ホコリ対策
　　　ESD対策とESA対策の違い」
概要　１.微粒子と粗大粒子の挙動
　　　２.クリーン化と静電気対策
　　　３.クリーン化の進め方
参加者　11社 1機関 61名